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江蘇星特亮科技有限公司

延安星特亮科創(chuàng)有限公司

Yanan Xintlang Technology Co.,Ltd

Jiangsu Xintlang Technology Co.,Ltd

详细说明

TLX-40碳化硅單晶爐

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  • 商品說明

產(chǎn)品型號

性能參數(shù)

TLX-40

TLX-40A

TLX-41

1

結(jié)構(gòu)形式

單層英管+水冷屏蔽罩

雙層水冷石英管

雙層水冷石英管

2

晶體尺寸(吋)

4-6

4-6

6-8

3

內(nèi)石英管尺寸(mm

Φ380×1100

Φ380×1170

Φ410×1170

4

加熱方式

電磁感應(yīng)

電磁感應(yīng)

電磁感應(yīng)

5

加熱功率(kw

60

40

40

6

加熱頻率(kHz

8

8

8

7

最高溫度(

2400

2400

2400

8

測溫方式

上、下

上、下

上、下

9

溫度測控范圍(

1000-3000

1000-3000

1000-3000

10

溫度控制精度(

±0.5

±0.5

±0.5

11

控溫模式

功率控制模式

上部溫度控制模式

下部溫度控制模式

功率控制模式

上部溫度控制模式

下部溫度控制模式

功率控制模式

上部溫度控制模式

下部溫度控制模式

12

爐內(nèi)真空度(Pa

600E-04

600E-04

600E-04

13

抽氣速率(mbar*l/s

800L/s

800L/s

800L/s

14

漏氣率(mbar*l/s

5.00E-09

5.00E-09

5.00E-09

15

線圈升降速度(mm/h

0.02-2

0.02-2

0.02-2

16

線圈升降距離(mm

200

300

300

17

坩堝升降速度(mm/min

150

150

150

18

坩堝升降距離(mm

≥1250

850

850

19

坩堝旋轉(zhuǎn)速度(rpm

0.1-20

0.1-20

0.1-20

20

爐蓋開啟方式

氣動升降

手動旋轉(zhuǎn)

氣動升降

手動旋轉(zhuǎn)

氣動升降

手動旋轉(zhuǎn)

21

氣體源

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

22

冷卻水壓力(MPa

0.15-0.2

0.15-0.2

0.15-0.2

23

冷卻水流量(m3/h

5

6

6

24

冷卻水溫度(

22-26±2

22-26±2

22-26±2

25

冷卻水質(zhì)

PH6-8,軟化純凈水

PH6-8,軟化純凈水

PH6-8,軟化純凈水

26

裝卸料位置

上、下

上、下

27

整機控制方式

全自動

全自動

全自動

28

主機尺寸

1400×2100×3800

1400×2100×3600

1680×2200×3600

29

主機重量(kg

2000

1800

2000


張女士

王先生

137-0156-1707

公司地址

江蘇張家港市楊舍鎮(zhèn)東萊東黎路8號

郵箱

1056082353@qq.com

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